PS-InSAR技术最早由Ferretti等（2001）提出，利用同一区域获得的多时相SAR影像，通过适当的数据处理和分析程序将形变相位分量与其它相位分量分离。PS-InSAR技术的关键是确定PS点，用以估计形变时间序列和形变速率。PS-InSAR方法的另一个结果是地形残差，即给定PS点的散射相位中心的真实高度和该点的DEM高度之差，这也是获得精确PS地理编码的关键参数之一（Ferretti等, 2001）。

PS-InSAR技术处理流程包括以下几个步骤：

（1）SAR影像定标和配准。进行SAR影像配准和辐射定标，将时间序列数据的几何位置和辐射强度统一起来，用以消除成像过程中受卫星视角、轨道高度、入射角、大气效应以及SAR系统热噪声等造成的振幅信息变化。

（2）生成差分干涉数据集。根据空间基线和时间基线的最优值和多普勒质心差阈值，选取合适时间的SAR数据作为主影像，其它时相数据作为副影像，分别进行干涉处理，生成干涉图集；利用DEM数据去除地形相位，利用精密轨道数据消除因轨道误差导致的基线误差和卫星系统误差导致的平地效应相位，生成时间序列差分干涉图集。

（3）PS候选点的识别。利用振幅离差指数法与相关系数法双阈值法进行PS候选点的识别，相关系数阈值法能够快速缩小PS点探测范围，振幅离差指数法能够逐一进行精细筛选。