3 金刚线母线成品生产工艺

金刚线母线成品生产工艺包括1中的步骤（4）~步骤（5）。目前，金刚线母线生产企业常用滑动式水箱拉丝机将10² μm级直径的电镀丝半成品直接拉拔至所需的10¹ μm级直径的金刚线母线成品。滑动式水箱拉丝机实现滑动拉拔的必要条件为：除成品模具外，中间各道次塔轮的线速度 U_n要大于其相应道次的钢丝拉拔速度 V_n。要使 U_n>V_n成立，就必须使钢丝的延伸因数 μ_n大于塔轮梯级的增速因数 i_n，而两者之比称为滑动系数 τ_n^[9]。滑动系数 τ_n为拉丝配模的关键参数，而其本身又是根据拉丝机类型和机械延伸率估算的经验值，并且 τ_n值受拉丝模具及同轴塔轮磨损程度、润滑液对金刚线母线的润滑效果等影响而随时产生波动^[10]。对于超细超高强韧金刚线母线，由于与塔轮的接触面积更小，在水箱拉丝过程中难以建立稳定的摩擦力，滑动系数 τ_n误差更大，经常出现的问题有：（1）因模序间道次延伸率与机械延伸率及滑动系数 τ_n之间不匹配导致的机械过载断丝，如图4所示；（2）由于钢丝与塔轮之间无法建立稳定的摩擦，导致钢丝表面质量变差，进而影响后续金刚石涂镀的均匀性，最终引发切割的硅片等表面质量变差；（3）钢丝成品圈径不稳定，导致切割后的硅片等翘距尺寸过大等。