3. 电离真空计测量过程

按真空获得的程序进行抽气、烘烤和除气。接通被校电离真空计电源，使真空计预热30min以上，使真空计处于工作状态，待校准室的温度与环境温度达到平衡后，记录环境温度。当校准室工作压力达到要求后，记录校准室内的本地压力，并开始校准。根据被校压力范围调节气源室的校准气体压力。调整被校电离真空计，使其处于测量工作状态，按照从低压力到高压力的顺序进行校准，向校准室注入校准气体，待压力稳定后记录标准真空计和被校真空计的读数，压力校准点应在被校量程内进行选取：线性刻度的被校真空计，每个数量级至少有3个校准点，一般选取该量程的30%、60%、90%附近的三点，对数刻度的被校准真空计不得少于10个校准点。