1.1 内部放电故障

引起内部放电故障有两种情况，一种是由装配零件松动引起的悬浮点位放电，零件间放电、绝缘体表面放电等设备缺陷引起的局部放电，这种缺陷便会导致绝缘故障，当绝缘性下降后造成不可逆转的危害。形成局部放电原因主要包括：设备受潮、配件松动、表面粗糙、制作工艺误差、运输过程的碰撞和后期维护不精细。通过气体间隙进行局部放电故障发生率较低，但足够引起SF₆气体少量分解，产生微量的SO₂、HF和H₂S等气体。

另一种放电形式是内部绝缘缺陷引起的导电金属对地放电，或是漂浮在设备内部的导电颗粒杂质引起对地放电，对地放电将会有大量能量溢出。具体表现为：电晕、火花或电弧放电^[3]。这种放电使得SF₆气体、金属触头和固体绝缘材料分解产生大量的SO₂、SOF₂、H₂S、HF、金属氟化物等^[4]。