2 真空预载小孔节流静压气浮轴 承静态特性理论计算 真空预载小孔节流静压气浮轴承是在 小孔节流静压气浮轴承的基础上引入真空 腔演变而来，图 1 为其工作原理图，在工 作时将高压气体通入节流孔，其后气体从 节流孔流至压力腔，最终在轴承下表面和 工作表面间形成正压区域，该正压将轴承 浮起，使其具备抗压能力。从压力腔流出 的气体一部分直接流向轴承边缘，压力大 小降为大气压；另一部分流向真空腔由真 空发生装置从真空腔入口抽离，真空腔形成负压区域使轴承产生吸力，使其具备抗 拉能力。正压区域产生的浮力会使气膜厚 度增加，负压区域产生的吸力使气膜厚度 减小，当两者相互匹配时，气膜厚度将会趋于稳定，此时轴承具备双向刚度，能够 在双向负载的工况下使用[9]。