首先以恒温阶段硅棒为研究对象,对硅棒电流-温度环节进行建模。假设整个沉积反应过程中,硅棒粗细均匀且各处温度都一样,可以根据焦耳定律、能量定律,单位时间内硅棒交流电发热产生的热量减去,单位时间内硅棒表面反应吸收的热量与没有吸收的而是通过还原炉炉壁和底盘夹套冷却水散失的热量全部之和,应等于硅棒存储能量的变化率,
首先以恒温阶段硅棒为研究对象,对硅棒电流-温度环节进行建模。假设整个沉积反应过程中,硅棒粗细均匀且各处温度都一样,可以根据焦耳定律、能量定律,单位时间内硅棒交流电发热产生的热量减去,单位时间内硅棒表面反应吸收的热量与没有吸收的而是通过还原炉炉壁和底盘夹套冷却水散失的热量全部之和,应等于硅棒存储能量的变化率,
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