螺杆压缩机作为多晶硅循环氢的关键设备， 依据工况条件和工艺特点， 采用无夹套和转子冷却的2级无油螺杆压缩压缩机， 组成包括电机、增速箱、联轴器， 1和2级压缩、级间换热器，消音器和独立的油站系统。压缩机轴封采用串联式干气密封系统。        

 螺杆式无油润滑压缩机主要部件是一对阴、阳转子，两个转子是具有不同齿数的螺旋齿相互啮合的， 啮合点（密封线）随着转子的回转而移动。旋转时，处于转子齿槽之间的气体不断产生周期性的容积变化。且沿着转子轴线由吸入侧输出至压出侧，实现吸入、压缩和排气的全部过程，不需要往复式压缩机余隙容积。该机组径向轴承采用强制润滑的液压式滑动轴承，推力轴承采用米歇尔轴承。 运行转速为10472RPM, 电机功率1300KW.