1.1 片上微型隔膜泵

隔膜泵是利用薄膜产生形变使腔体容积改变，通过控制进出口的阀门，从而实现压缩气体或流体向指定的方向流动。MEMS工艺中硅膜、介电膜和聚合物膜的成熟制备工艺^[30-31]和多种驱动薄膜的方式^[32-34]（静电驱动、电渗透、压电驱动、气动、热气动、磁驱动等）以及不同种类微阀的加工包括主动阀、被动阀和扩散阀等^[35-36]，使隔膜泵的片上化成为可能，一些研究已经展现了基于不同驱动方式加工的片上微型隔膜泵^[37]。

对于单级的片上隔膜泵，Zhou et al.等人提出了一个由多层硅片-玻璃加工的结构如图2，最终能够实现164Torr（21.9kPa）的极限压强^[38]，这是目前单级片上隔膜泵实现的最好的水平。这项工作的关键是通过优化器件结构，进一步降低了腔体死空间的体积，从而实现了较大的压缩比。但是这个器件还需要外部的气动驱动，不是一个完全集成化的器件。