硅MEMS光纤法珀振动传感器的结构如图1所示。光纤通过硼硅玻璃毛细管集成在敏感头上，敏感头由上层硼硅玻璃，硅敏感单元以及底层硼硅玻璃基座组成。弹簧-质量-阻尼系统由硅敏感单元上的四根完全相同的硅梁以及硅梁中间的质量块组成，质量块的厚度比硅梁的厚度大。单模光纤通过硼硅玻璃毛细管与传感头上的凸台集成，单模光纤端面与质量块上表面以及质量块下表面形成多腔Fabry-Perot(FP)干涉,分别对应两个FP腔L_FP1和L_FP2的位置。光纤端面的反射率为R₁，质量块上表面的反射率为R₂，质量块下表面的反射率为R₃。