螺杆压缩机的配置和原理工艺螺杆压缩机是多晶硅生产中最关键的工艺设备。由于气体中存在一些硅污垢，干式螺杆压缩机在工业上非常适用。对振动进行监测和控制，确保压缩机长期、稳定、可靠地运行。压缩机的稳定可靠运行与整厂的可靠性密切相关。压缩机单元由三台两级螺杆 FBR 压缩机组成，每台具有 50% 的工艺负荷，用于将氢气循环到反应器系列。压缩机由感应电动机通过一个加速齿轮箱驱动，该齿轮箱有两个水平放置的轴，一个小齿轮和一个大齿轮。每台压缩机都配备 2 级配置，两个阳转子和两个阴转子，在一个撬块中串联布置的干气密封，以及一个单独的润滑油站撬块。