多晶硅还原工序对产品质量的影响及控制措施

    摘要：用改良西门子法生产多晶硅的生产过程中影响最终产品质量的因素有很多，现主要针对还原工序生产运行中的反应温度，反应压力，还原进料纯度等几方面因素对多晶硅成品质量的影响作详细的论述，并提出相应的解决措施。

    关键词：多晶硅；还原工序；反应温度；反应压力;进料纯度